東京工業大学　大学院総合理工学研究科/化学環境学専攻　　
渡辺　隆行　准教授

『大気圧プラズマの基礎とその応用
～表面処理、材料合成、廃棄物処理などを中心に～』

　ナノ粒子やナノチューブなどの材料合成，さらに廃棄物処理などにおいて，プラズマを用いるプロセッシングが注目されています。これらのプロセッシングに用いられるプラズマとしては，熱プラズマのみならず非平衡プラズマがあり，各種のプロセスで要求される内容に応じて適切な種類のプラズマを選択することが重要です。このためには，これらの大気圧で発生するプラズマの発生方法や特徴を把握することが大切です。本講演では，アーク放電や高周波放電等による熱プラズマ，およびグロー放電等の大気圧非平衡プラズマの発生方法の原理，それぞれのプラズマの特性，プラズマ物性などの材料プロセッシングにおいて必要な基礎知識を論じ，さらに材料合成，表面処理，廃棄物処理の最新の研究動向およびプロセスの原理を紹介します。

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