東京工業大学　精密工学研究所　　教授　横田　眞一　氏　

『機能性流体を応用した新原理マイクロアクチュエータ』

　液圧に代表されるフルードパワーは、マイクロ領域での応用にも向いています．しかし、マイクロ領域では、金属などの固体でできたバルブなどの製作は限界があります．機能性流体とは，電界や磁界の印加によりジェット流の発生や見かけの粘度の変化を生じる液体で，これを応用することにより，マイクロに適した単純構造で，高パワー密度のフルードパワーを制御できるものです．機能性流体として、ECF（電界共役流体），ERF（電気粘性流体）およびMRF（磁気粘性流体））などがありますが，これらを応用してミリメータサイズで高パワー密度の実用的なマイクロアクチュエータの実現を試みています．ここではとくにECFについてマイクロモータ、マイクロソフトアクチュエータ、マイクロジャイロセンサ、マイクロ冷却などに応用した例について紹介します．

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