東京工業大学大学院　総合理工学研究科　　 准教授　沖野　晃俊　氏　

『大気圧プラズマの生成と半導体，環境，製造技術等への応用』

　大気圧プラズマは高密度なため，高速処理が可能，真空装置が不要などの理由で産業応用には大きなメリットがあります。しかし，電極を使用しない高純度のプラズマを大気圧中で生成する事は容易ではありませんでした。我々は大気圧プラズマの安定生成法を研究し，一つのプラズマ装置で，様々なガスを大気圧下で安定にプラズマ化できるマルチガスプラズマ源のほか，1mの大面積プラズマ源から1mm以下のマイクロプラズマ源までの開発に成功しています。講演ではそれらの装置と，大気圧半導体プロセシング，環境浄化，親水化処理，接着性向上などへの応用例についてご紹介します。

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