東京工業大学　精密工学研究所　　 教授　教授肥後矢吉　氏　

『超微細な機械部品材料（MEMS用マイクロ寸法材料）の特性試験』：

　超微小機械部品（数十ミクロン）に用いられる材料の機械的特性は一般に寸法効果と言われ、微小化に伴って変化すると言われている。特に超微小機械部品には一般の材料と全く異なって薄膜材料が使用され、材料の体積および組織に比べて表面積が非常に大きくなるため破壊強度、弾性定数から降伏応力までが変化する。しかし、部材の寸法が数十ミクロンまで小さくなると試験片の加工から試験機まで新たに開発しなければならない。ここでは部材寸法が従来の部材の1/1000（ミリからミクロン）以下になった場合の試験片の加工法、試験方法、接着（密着）強度の測定法とそれらの国際標準化および強化法などについて述べていく。

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